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标题
Green ethanol-developable electron beam lithography processes using positive tone biomass resist material
相关领域
电子束光刻 抵抗 平版印刷术 四甲基氢氧化铵 纳米技术 材料科学 生物量（生态学） X射线光刻 光电子学 海洋学 图层（电子） 地质学
网址
https://doi.org/10.1117/12.2295145
DOI
10.1117/12.2295145 doi
其它 期刊：
作者：Satoshi Takei
出版日期：2018-03-19
求助人
Owen 在 2025-10-27 09:54:43 发布自广东，悬赏 20 积分
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