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![]() 低温退火对直流磁控溅射Zn(1-x)Sn(x)O薄膜结构、形貌、光学和电学性能影响的研究
相关领域
退火(玻璃)
材料科学
腔磁控管
薄膜
溅射沉积
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期刊:Physica B Condensed Matter 作者:Prashant Bhat; Parashurama Salunkhe; M.S. Murari; Dhananjaya Kekuda 出版日期:2021-12-23 |
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Guoomeng
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