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 Effect of Ultraviolet Irradiation on the Defect States and the Charge Transport Properties of Low-k SiOC(-H) Dielectric Films Deposited by Using UV-assisted PECVD 相关领域
材料科学
紫外线
辐照
等离子体增强化学气相沉积
电介质
电荷（物理）
低介电常数
光电子学
硅
物理
量子力学
核物理学
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期刊：Journal of the Korean Physical Society 作者：A. S. Zakirov; Tae-Won Kang; R. Navamathavan; C. Y. Kim; C. K. Choi 出版日期：2011-05-13 |
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