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  Design Optimization and Fabrication of High-Sensitivity SOI Pressure Sensors with High Signal-to-Noise Ratios Based on Silicon Nanowire Piezoresistors 相关领域
材料科学
压力传感器
灵敏度（控制系统）
压阻效应
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期刊：Micromachines 作者：Jiahong Zhang; Yang Zhao; Yixian Ge; Min Li; Lijuan Yang; et al 出版日期：2016-10-14 |
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