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标题
Fast chemical thinning of germanium wafers for optoelectronic applications
用于光电应用的锗晶片的快速化学减薄
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网址
https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S016943322...
DOI
10.1016/j.apsusc.2021.152199 doi
其它 期刊：Applied Surface Science
作者：Clara Sanchez‐Perez; Iván García; Ignacio Rey‐Stolle
出版日期：2021-12-14
求助人
夹心 在 2025-04-02 13:37:56 发布自四川，悬赏 10 积分
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