Low threshold voltage and high phase transition performance of ITO/VO₂:W composite films deposited by reactive magnetron sputtering

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标题	Low threshold voltage and high phase transition performance of ITO/VO₂:W composite films deposited by reactive magnetron sputtering 反应磁控溅射ITO/VO₂：W复合薄膜的低阈值电压和高相变性能相关领域材料科学复合数腔磁控管溅射沉积相（物质）溅射光电子学相变复合材料薄膜凝聚态物理纳米技术物理有机化学化学
网址	https://doi.org/10.1016/j.mssp.2025.109274
DOI	10.1016/j.mssp.2025.109274 doi
其它	期刊：Materials Science in Semiconductor Processing 作者：Yuxuan Lei; Jiahua Qi; Le Li; Tian Xia; Jingjia Chen; et al 出版日期：2025-01-10
求助人	对对对在 2025-05-26 17:00:04 发布自天津，悬赏 10 积分
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