A novel SiGe GAA transistor with trench removal and backside self-aligned contact for process variations suppression and circuit performance improvement

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标题	A novel SiGe GAA transistor with trench removal and backside self-aligned contact for process variations suppression and circuit performance improvement
网址	http://dx.doi.org/10.1016/j.mejo.2026.107550
DOI	10.1016/j.mejo.2026.107550 doi
其它	期刊：Microelectronics Journal 作者：Jiawei Wang; Haoyan Liu; Longyu Sun; Shiqi Cao; Fei Zhao; et al 出版日期：2026-12-01
求助人	落寞晓兰在 2026-10-15 23:15:33 发布自安徽，悬赏 10 积分
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