Design and simulation of a novel MEMS-based single proof mass three-axis piezo-capacitive accelerometer

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标题	Design and simulation of a novel MEMS-based single proof mass three-axis piezo-capacitive accelerometer 一种新型MEMS单质量三轴压电电容加速度计的设计与仿真相关领域验证质量加速度计微电子机械系统电容感应概念证明声学电气工程计算机科学电子工程材料科学工程类物理光电子学操作系统
网址	https://doi.org/10.1007/s00542-023-05604-9
DOI	10.1007/s00542-023-05604-9 doi
其它	期刊：Microsystem Technologies 作者：Salar Ghasemi; Behzad Sotoudeh; Mehdi Pazhooh 出版日期：2024-01-30
求助人	gulugulu 在 2024-03-26 19:04:35 发布自湖北，悬赏 10 积分
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