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标题
Design of a MZI Micro-Opto-Mechanical Pressure Sensor for a SiN photonics platform
用于正弦光子学平台的MZI微光机械压力传感器设计
相关领域
材料科学 灵敏度（控制系统） 电容感应 光子学 波导管 有限元法 光学 折射率 联轴节（管道） 干涉测量 光电子学 声学 电子工程 物理 计算机科学 工程类 结构工程 操作系统 冶金
网址
https://doi.org/10.1109/eurosime.2016.7463357
DOI
10.1109/eurosime.2016.7463357 doi
其它 期刊：
作者：Véronique Rochus; Roelof Jansen; Jeroen Goyvaerts; G. Vandenboch; Bob Van de Voort; et al
出版日期：2016-04-01
求助人
冷艳的友瑶 在 2024-04-20 01:16:30 发布自中国，悬赏 10 积分
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