| 标题 |
Surrounding Gate Vertical-Channel FET with Gate Length of 40 nm using BEOL Compatible High-Thermal-Tolerance In-Al-Zn Oxide Channel 使用BEOL兼容的高热容In-Al-Zn氧化物沟道的栅极长度为40nm的环绕栅极垂直沟道FET
相关领域
材料科学
光电子学
热稳定性
频道(广播)
晶体管
生产线后端
场效应晶体管
可靠性(半导体)
逻辑门
可扩展性
氧化物
电气工程
计算机科学
物理
工程类
电压
冶金
化学工程
数据库
量子力学
电介质
功率(物理)
|
| 网址 | |
| DOI | |
| 其它 |
期刊: 作者:Hirokazu Fujiwara; Yuta Sato; Nobuyoshi Saito; Tomomasa Ueda; Keiji Ikeda 出版日期:2020-06-01 |
| 求助人 | |
| 下载 | 求助已完成,仅限求助人下载。 |
|
温馨提示:该文献已被科研通 学术中心 收录,前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库,收集文献的基本信息(如标题、摘要、期刊、作者、被引量等),不提供下载功能。如需下载文献全文,请通过文献求助获取。
|