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 Large deflection micromechanical scanning mirrors for linear scans and pattern generation 用于线性扫描和图案生成的大偏转微机械扫描镜
相关领域
偏转（物理）
材料科学
扫描仪
万向节
光学
薄脆饼
制作
绝缘体上的硅
电极
微电子机械系统
抵抗
激光扫描
硅
表面微加工
步进电机
电压
偏角
光电子学
激光器
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物理
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医学
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期刊：IEEE Journal of Selected Topics in Quantum Electronics 作者：Harald Schenk; Peter Dürr; Thomas Haase; Detlef Kunze; U. Sobe; et al 出版日期：2000-09-01 |
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