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 A novel room-temperature surface Si3N4 patterned As+ ion implant solution to wafer warpagemodulation in 3D NAND flash fabrication 相关领域
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期刊：Materials Science in Semiconductor Processing 作者：Kun Zhang; Xiaomin Cheng; Xiangshui Miao; Zhiliang Xia 出版日期：2025-03-11 |
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