Implementation of sub-100 nm vertical channel-all-around (CAA) thin-film transistor using thermal atomic layer deposited IGZO channel

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标题	Implementation of sub-100 nm vertical channel-all-around (CAA) thin-film transistor using thermal atomic layer deposited IGZO channel
网址	https://doi.org/10.1088/1674-4926/24010032
DOI	10.1088/1674-4926/24010032 doi
其它	期刊：Journal of Semiconductors 作者：Yuting Chen; Xinlv Duan; Xueli Ma; Yuan Peng; Zhengying Jiao; et al 出版日期：2024-07-01
求助人	GG 在 2026-08-28 20:13:00 发布自福建，悬赏 10 积分
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