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A high-resolution micro-electro-mechanical resonant tilt sensor
一种高分辨率微机电谐振倾斜传感器
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期刊:Sensors and Actuators A: Physical 作者:Xudong Zou; Pradyumna Thiruvenkatanathan; Ashwin A. Seshia 出版日期:2014-12-01 |
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