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标题
Effect of nitrogen partial pressure on the piezoresistivity of magnetron sputtered ITO thin films at high temperatures
氮气分压对磁控溅射ITO薄膜高温压阻特性的影响
相关领域
薄膜 X射线光电子能谱 分析化学(期刊) 材料科学 带隙 溅射沉积 氮气 分压 费米能级 腔磁控管 溅射 电子 氧气 化学 纳米技术 光电子学 核磁共振 物理 有机化学 色谱法 量子力学
网址
DOI
10.1016/j.apsusc.2022.155292 doi
其它 期刊:Applied Surface Science
作者:Zhichun Liu; Junsheng Liang; Hao Zhou; Hongyi Sun; Wenqi Lu; et al
出版日期:2022-10-01
求助人
wshy 在 2023-10-09 15:36:36 发布自江苏,悬赏 10 积分
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