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Effect of nitrogen partial pressure on the piezoresistivity of magnetron sputtered ITO thin films at high temperatures
氮气分压对磁控溅射ITO薄膜高温压阻特性的影响
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期刊:Applied Surface Science 作者:Zhichun Liu; Junsheng Liang; Hao Zhou; Hongyi Sun; Wenqi Lu; et al 出版日期:2022-10-01 |
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