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 Mechanism of friction-induced chemical reaction high-efficient polishing single crystal 4H-SiC wafer using pure iron 纯铁高效抛光单晶4H-SiC晶片的摩擦诱导化学反应机理
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期刊：Tribology International 作者：Min Wu; Hui Huang; Yueqin Wu; Zhiteng Xu; Tukun Li; et al 出版日期：2024-02-22 |
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