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标题
Mechanism of friction-induced chemical reaction high-efficient polishing single crystal 4H-SiC wafer using pure iron
纯铁高效抛光单晶4H-SiC晶片的摩擦诱导化学反应机理
相关领域
材料科学 薄脆饼 抛光 Crystal（编程语言） 化学反应 机械加工 反应机理 冶金 化学机械平面化 固态 复合材料 反应速率 金属 单晶 纳米技术 物理化学 结晶学 催化作用 化学 生物化学 计算机科学 程序设计语言
网址
https://doi.org/10.1016/j.triboint.2024.109450
DOI
10.1016/j.triboint.2024.109450 doi
其它 期刊：Tribology International
作者：Min Wu; Hui Huang; Yueqin Wu; Zhiteng Xu; Tukun Li; et al
出版日期：2024-02-22
求助人
半日闲 在 2025-08-18 16:21:08 发布自福建，悬赏 10 积分
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