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 Effect of $${\text{O}}_{2}^{ + }$$ Ion Implantation on the Elemental and Chemical Composition of the Si(111) Surface $${\text{O}}_{2}^{+}$$离子注入对Si（111）表面元素和化学成分的影响
相关领域
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期刊：Journal of Surface Investigation X-ray Synchrotron and Neutron Techniques 作者：G. Kh. Allayarova; Б. Е. Умирзаков; A. K. Tashatov 出版日期：2024-06-01 |
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