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 Quadrature moment simulation of silica nanoparticles aggregation and breakage in chemical mechanical polishing 化学机械抛光中二氧化硅纳米粒子聚集破碎的正交矩模拟
相关领域
化学机械平面化
材料科学
破损
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期刊：Journal of Industrial and Engineering Chemistry 作者：Seulgi Choi; Gyeongtae Im; Eungchul Kim; Kihong Park; Taesung Kim 出版日期：2022-03-01 |
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