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 Growth Mechanism of SiC Chemical Vapor Deposition: Adsorption and Surface Reactions of Active Si Species SiC化学气相沉积生长机理：活性Si物种的吸附和表面反应
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期刊：Journal of Physical Chemistry C 作者：Pitsiri Sukkaew; Emil Kalered; Erik Janzén; Olof Kordina; Örjan Danielsson; et al 出版日期：2017-12-06 |
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