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![]() 厚度对4.5 nm以下La掺杂HfO2外延膜铁电性能的影响
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期刊:Journal of Materials Chemistry C 作者:Tingfeng Song; Romain Bachelet; Guillaume Saint‐Girons; N. Dix; Ignasi Fina; et al 出版日期:2021-01-01 |
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