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 The impact of silicon surface pretreatment on interface structure and passivation quality of AlOx films deposited by atomic layer deposition 硅表面预处理对原子层沉积Alox薄膜界面结构和钝化质量的影响
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期刊：Solar Energy Materials and Solar Cells 作者：Jiahui Xu; Wenjing Zhang; Yu-Xuan Li; Liu Cui; Geng Zhang; et al 出版日期：2025-04-21 |
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