In-design DFM pattern optimization with ML models for dynamic fixing guidance selection and implementation

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标题	In-design DFM pattern optimization with ML models for dynamic fixing guidance selection and implementation
网址	http://dx.doi.org/10.1117/12.3023887
DOI	10.1117/12.3023887 doi
其它	期刊：DTCO and Computational Patterning III 作者：Fadi S. Batarseh; Piyush Pathak; Jeff Nelson; Lynn Wang; Ya-Chieh Lai 出版日期：2024-04-10
求助人	tester_gater 在 2026-06-30 13:50:32 发布自上海，悬赏 20 积分
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