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  Evaluation of an Empirical Model to Estimate and Optimize Mechanical Properties of PECVD SiC Films 相关领域
等离子体增强化学气相沉积
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期刊：Journal of The Electrochemical Society 作者：Hoa T. M. Pham; Charles R. de Boer; Cassan C. C. Visser; P.M. Sarro 出版日期：2005-01-01 |
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