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 Dry and wet etching of single-crystal AlN 单晶AlN的干法和湿法刻蚀
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films 作者：Hsiao-Hsuan Wan; Chao-Ching Chiang; Jian-Sian Li; Nahid Sultan Al‐Mamun; Aman Haque; et al 出版日期：2024-07-09 |
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