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Dependence of Epitaxial Layer Defect Morphology on Substrate Particle Contamination of Si Epitaxial Wafer
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网址
https://doi.org/10.1149/1.1393336
AI链接 iop.orgdoi.org
DOI
10.1149/1.1393336 doi
其它 期刊：Journal of The Electrochemical Society
作者：M. Iwabuchi; Koichi Mizushima; Masaya Mizuno; Y. Kitagawara
出版日期：2000-01-01
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zzzz 在 2025-11-30 13:56:13 发布自山东，悬赏 10 积分
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