Stylus type MEMS texture sensor covered with corrugated diaphragm

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标题	Stylus type MEMS texture sensor covered with corrugated diaphragm
网址	http://stacks.iop.org/0960-1317/27/i=9/a=095006?key=crossref...
DOI	10.1088/1361-6439/aa7ec2 doi
其它	期刊：Journal of Micromechanics and Microengineering 作者：Takashiro Tsukamoto; Hideaki Asao; Shuji Tanaka 出版日期：2017-07-10
求助人	勤恳平卉在 2026-01-29 17:32:03 发布自中国，悬赏 10 积分
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