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Effects of Hydrogen and Argon Dilution on the Properties of Silicon and Nitrogen Doped Diamond-Like Carbon Films by Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition
氢氩稀释对等离子体增强化学气相沉积硅氮掺杂类金刚石薄膜性能的影响
相关领域
材料科学
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等离子体
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等离子体增强化学气相沉积
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期刊:The Japan Society of Applied Physics 作者:Yuya Sasaki; Hiroya Osanai; Yusuke Ohtani; Yuta Murono; Masayoshi Satō; et al 出版日期:2021-07-06 |
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