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标题
Effects of Hydrogen and Argon Dilution on the Properties of Silicon and Nitrogen Doped Diamond-Like Carbon Films by Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition
氢氩稀释对等离子体增强化学气相沉积硅氮掺杂类金刚石薄膜性能的影响
相关领域
材料科学 化学气相沉积 碳纤维 氮气 等离子体 兴奋剂 等离子体增强化学气相沉积 化学工程 类金刚石碳 纳米技术 薄膜 复合材料 光电子学 有机化学 复合数 化学 工程类 物理 量子力学
网址
AI链接 atlas.jp
DOI
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其它 期刊:The Japan Society of Applied Physics
作者:Yuya Sasaki; Hiroya Osanai; Yusuke Ohtani; Yuta Murono; Masayoshi Satō; et al
出版日期:2021-07-06
求助人
无奈的萝 在 2024-05-22 15:45:44 发布自江苏,悬赏 10 积分
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    无奈的萝 无奈的萝 求助人 Lv32 关闭了本次求助。

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  • 12天前

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  • 12天前

    无奈的萝 无奈的萝 求助人 Lv32 发起了本次求助

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