Design, fabrication, and evaluation of on-chip micro-supercapacitors

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标题	Design, fabrication, and evaluation of on-chip micro-supercapacitors 片上微型超级电容器的设计、制造和评价相关领域超级电容器微电子机械系统材料科学制作电容器电容感应功率密度电极纳米技术炸薯条储能光电子学电气工程电容功率（物理）电压工程类化学医学替代医学物理化学病理物理量子力学
网址	https://doi.org/10.1117/12.884350
DOI	10.1117/12.884350 doi
其它	期刊：Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE 作者：Majid Beidaghi; Wei Chen; Chunlei Wang 出版日期：2011-04-28
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