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 书籍（章节） Effect of Composition on Resist Dry-Etching Susceptibility 组成对抗蚀剂干蚀刻敏感性的影响
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期刊：ACS symposium series 作者：John N. Helbert; Martin A. Schmidt; Cecile Malkiewicz; Easley Wallace; Charles U. Pittman 出版日期：1984-03-15 |
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