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Chemical mechanism of formation of two-dimensional electron gas at the Al2O3/TiO2 interface by atomic layer deposition
原子层沉积在Al2O3/TiO2界面形成二维电子气的化学机理
相关领域
异质结 原子层沉积 化学物理 化学 解吸 氧气 氧化物 吸附 电子 图层(电子) 材料科学 纳米技术 物理化学 光电子学 物理 有机化学 量子力学
网址
DOI
10.1016/j.mtadv.2021.100195 doi
其它 期刊:Materials Today Advances
作者:Jeongwoo Park; Hyobin Eom; Seong Hwan Kim; Tae Jun Seok; Tae Joo Park; et al
出版日期:2021-12-01
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踏实从雪 在 2025-03-25 09:55:43 发布自河北,悬赏 10 积分
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