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 Time-resolved Langmuir probe diagnostics of a bipolar high power impulse magnetron sputtering discharge 双极高功率脉冲磁控溅射放电的时间分辨Langmuir探针诊断
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期刊：Applied Physics Letters 作者：R. Hippler; Martin Čada; Zdeněk Hubička 出版日期：2020-02-10 |
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