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Influence of precursor purge time on the performance of ZnO TFTs fabricated by atomic layer deposition
前体吹扫时间对原子层沉积ZnO薄膜晶体管性能的影响
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期刊:Vacuum 作者:Xue Chen; Jiaxian Wan; Liwei Ji; Juan Gao; Hao Wu; et al 出版日期:2022-06-01 |
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