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标题
Phosphorus redistribution in P-doped polycrystalline silicon/tantalum silicide system during high temperature sintering
网址
https://pubs.aip.org/aip/jap/article-pdf/54/10/6058/18402993...
DOI
10.1063/1.331755 doi
其它 期刊：Journal of Applied Physics
作者：S. Luryi; N. Lifshitz
出版日期：2003-02-15
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Bluestar 在 2026-02-05 03:31:12 发布自广东，悬赏 10 积分
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