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 Processing of metals and semiconductors by a femtosecond laser-based microfabrication system 基于飞秒激光的微加工系统加工金属和半导体
相关领域
微加工
飞秒
材料科学
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期刊：Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE 作者：Michel Meunier; Bruno Fisette; Alexis Houle; Andrei V. Kabashin; Sergey Broude; et al 出版日期：2003-06-19 |
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