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标题
Investigation of the optical, electrical, and elemental properties upon annealing of spatial atomic layer deposited (SALD) Al-doped ZnO thin films
空间原子层沉积（SALD）Al掺杂ZnO薄膜退火后的光学、电学和元素性质研究
相关领域
退火（玻璃） 兴奋剂 材料科学 光电子学 原子层沉积 薄膜 宽禁带半导体 图层（电子） 锌化合物 纳米技术 冶金 锌
网址
https://doi.org/10.1117/12.2590655
DOI
10.1117/12.2590655 doi
其它 期刊：
作者：Punam Murkute; Carmen Jiménez; Abderrahime Sekkat; Chiara Crivello; Việt Hương Nguyễn; et al
出版日期：2021-03-03
求助人
仁爱芮 在 2025-08-25 01:04:45 发布，悬赏 20 积分
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