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Novel Thermally-Stable Hafnium and Zirconium ALD Precursors
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网址
http://xplorestaging.ieee.org/ielx5/4259214/4259215/04259256...
DOI
10.1109/asmc.2007.375090 doi
其它 期刊：2007 IEEE/SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference (ASMC)
作者：Audrey Pinchart; Nicolas Blasco; Christophe Lachaud; Anthony Schleisman; Christian Dussarrat; et al
出版日期：2007-06-29
求助人
js 在 2025-11-13 11:17:12 发布自加拿大，悬赏 10 积分
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