标题 |
![]() HfO2/Si中间层的XPS和深度分辨SXES研究
相关领域
X射线光电子能谱
哈夫尼亚
材料科学
分析化学(期刊)
化学气相沉积
溅射
图层(电子)
氧化物
沉积(地质)
薄膜
光谱学
化学
纳米技术
陶瓷
化学工程
立方氧化锆
冶金
生物
物理
工程类
古生物学
量子力学
色谱法
沉积物
|
网址 | |
DOI | |
其它 |
期刊:Journal of Electron Spectroscopy and Related Phenomena 作者:Е. О. Филатова; Andréy Sokolov; А. А. Овчинников; S. Yu. Tver’yanovich; E. P. Savinov; et al 出版日期:2010-04-26 |
求助人 | |
下载 | |
温馨提示:该文献已被科研通 学术中心 收录,前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库,收集文献的基本信息(如标题、摘要、期刊、作者、被引量等),不提供下载功能。如需下载文献全文,请通过文献求助获取。
|