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XPS and depth resolved SXES study of HfO2/Si interlayers
HfO2/Si中间层的XPS和深度分辨SXES研究
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网址
DOI
10.1016/j.elspec.2010.04.005 doi
其它 期刊:Journal of Electron Spectroscopy and Related Phenomena
作者:Е. О. Филатова; Andréy Sokolov; А. А. Овчинников; S. Yu. Tver’yanovich; E. P. Savinov; et al
出版日期:2010-04-26
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