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Contributed Review: Application of voice coil motors in high-precision positioning stages with large travel ranges 投稿综述:音圈电机在大行程高精度定位台中的应用
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期刊:Review of Scientific Instruments 作者:Guanqiao Shan; Yingzi Li; Liwen Zhang; Zhenyu Wang; Yingxu Zhang; et al 出版日期:2015-10-01 |
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