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 Morphology, composition and electrical properties of SnO2:Cl thin films grown by atomic layer deposition 原子层沉积法生长SnO2：Cl薄膜的形貌、成分和电学性能
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期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：Hsyi‐En Cheng; Chia-Hui Wen; Ching-Ming Hsu 出版日期：2015-10-15 |
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