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Effects of ambient ozone exposure during PECVD on the optoelectronic properties of a-Si:H films
PECVD过程中环境臭氧暴露对a-Si：H薄膜光电性能的影响
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| 其它 |
作者/期刊: Journal of Vacuum Science & Technology A 内容: 探讨环境中臭氧渗入PECVD腔体对非晶硅薄膜氢含量、带隙及导电性能的影响 |
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