Experiment-based modeling of a vapor draw ampoule used for low-volatility precursors

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标题	Experiment-based modeling of a vapor draw ampoule used for low-volatility precursors 用于低挥发性前体的蒸汽提取安瓿的基于实验的建模相关领域微电子化学气相沉积安瓿材料科学波动性（金融）纳米技术化学分析化学（期刊）计算机科学复合材料有机化学数学计量经济学
网址	https://doi.org/10.1116/1.5125446
DOI	10.1116/1.5125446 doi
其它	期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：Brent A. Sperling; James E. Maslar 出版日期：2019-10-22
求助人	js 在 2025-09-12 17:24:41 发布自福建，悬赏 10 积分
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