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 Experiment-based modeling of a vapor draw ampoule used for low-volatility precursors 用于低挥发性前体的蒸汽提取安瓿的基于实验的建模
相关领域
微电子
化学气相沉积
安瓿
材料科学
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期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：Brent A. Sperling; James E. Maslar 出版日期：2019-10-22 |
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