Direct measurement of the ion current density distribution of broad beam ion sources

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标题	Direct measurement of the ion current density distribution of broad beam ion sources
网址	https://doi.org/10.1016/S0257-8972(03)00447-X
DOI	10.1016/S0257-8972(03)00447-X doi
其它	期刊：Surface and Coatings Technology 作者：Volkmar Norkus; Gerald Gerlach; Thomas Reichard; Ronny Teichmann 出版日期：2003
求助人	ycsqz 在 2026-06-20 22:14:10 发布自河南，悬赏 10 积分
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