Interplay between deoxidation and dewetting for ultrathin SOI films

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标题	Interplay between deoxidation and dewetting for ultrathin SOI films
网址	http://dx.doi.org/10.1063/1.4980132
DOI	10.1063/1.4980132 doi
其它	期刊：Applied Physics Letters 作者：M. Trautmann; F. Cheynis; F. Leroy; S. Curiotto; P. Müller 出版日期：2017-04-17
求助人	zj 在 2026-07-24 23:18:12 发布自黑龙江，悬赏 10 积分
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