| 标题 |
 Scattered light: the increasing problem for 193-nm exposure tools and beyond 相关领域
光学
物理
光散射
聚光镜（光学）
表面光洁度
投影（关系代数）
泽尼克多项式
连贯性（哲学赌博策略）
斑点图案
散射
表面粗糙度
光谱密度
航程（航空）
空间频率
平版印刷术
自适应光学
图像质量
高斯分布
波前
材料科学
计算机科学
算法
图像（数学）
光源
计算机视觉
复合材料
量子力学
电信
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| DOI |
10.1117/12.435712
doi
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(2025-6-4)
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