Inhomogeneities in PECVD deposited a-Si:H films induced by a spacing between substrate and substrate holder - 科研通

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标题	Inhomogeneities in PECVD deposited a-Si:H films induced by a spacing between substrate and substrate holder 衬底与衬底支架间距对PECVD沉积a-Si：H薄膜不均匀性的影响相关领域沉积（地质）基质（水族馆）等离子体增强化学气相沉积电极材料科学等离子体分析化学（期刊）电介质电阻率和电导率光电子学化学硅电气工程沉积物生物地质学古生物学海洋学物理工程类物理化学色谱法量子力学
网址	https://doi.org/10.1016/s0927-0248(96)00062-1
DOI	10.1016/s0927-0248(96)00062-1 doi
其它	期刊：Solar energy materials & solar cells/Solar energy materials and solar cells 作者：W.G.J.H.M. van Sark; H. Meiling; Jeff Bezemer; Mika Lindén; R.E.I. Schropp; et al 出版日期：1997-01-01
求助人	George 在 2024-05-07 21:22:21 发布自广东，悬赏 10 积分
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