Characterization and reduction of copper chemical-mechanical-polishing-induced scratches

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标题	Characterization and reduction of copper chemical-mechanical-polishing-induced scratches
网址	https://doi.org/10.1117/12.485223
DOI	10.1117/12.485223 doi
其它	期刊：SPIE Proceedings 作者：Tai Yong Teo; Wang Ling Goh; Lup San Leong; Victor S. K. Lim; Tak Yan Tse; Lap Chan 出版日期：2003-11-14
求助人	Lee 在 2026-02-02 23:59:50 发布自浙江，悬赏 20 积分
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