Harmonic suppression and uniformity improvement of plasma density in capacitively coupled plasma

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标题	Harmonic suppression and uniformity improvement of plasma density in capacitively coupled plasma 电容耦合等离子体中谐波抑制与等离子体密度均匀性改善相关领域谐波等离子体容性耦合等离子体电容电容器谐波电压波形材料科学感应耦合等离子体沟道等离子体光电子学原子物理学化学电极物理声学电气工程工程类物理化学量子力学
网址	https://doi.org/10.1116/6.0002016
DOI	10.1116/6.0002016 doi
其它	期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：Yeong-Min Lim; So Yeong Park; You He; Young-Hun Hong; Chin-Wook Chung 出版日期：2022-10-07
求助人	圆圆在 2024-02-27 23:13:02 发布自辽宁，悬赏 10 积分
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