Control of Galvanic Corrosion Behavior Between Tungsten and Titanium Nitride in CMP Application

已关闭

文献求助详情

系统提示

该期刊的论文均为ECS Meeting Abstracts，无全文，请核实。查看帮助

提醒：由于doi是数字文件的唯一标识，应助人将优先使用doi进行应助

标题	Control of Galvanic Corrosion Behavior Between Tungsten and Titanium Nitride in CMP Application CMP应用中钨与氮化钛电偶腐蚀行为的控制相关领域材料科学电偶腐蚀腐蚀化学机械平面化氮化钛锡原电池介电谱线性扫描伏安法冶金钛点蚀钨电化学氮化物循环伏安法复合材料抛光电极化学图层（电子）物理化学
网址	https://doi.org/10.1149/ma2016-02/9/1112
DOI	10.1149/ma2016-02/9/1112 doi
其它	期刊：Meeting abstracts/Meeting abstracts (Electrochemical Society. CD-ROM) 作者：Kangchun Lee; Jihoon Seo; Jinok Moon; Yeon‐Gil Jung; Ungyu Paik 出版日期：2016-09-01
求助人	辛勤南琴在 2024-11-19 09:57:43 发布自陕西，悬赏 10 积分
下载
	温馨提示：该文献已被科研通学术中心收录，前往查看科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。

Society for Industrial and Applied Mathematics (SIAM)

上个求助

提交工单

求助 / 应助时间线

1年前，求助关闭

辛勤南琴 Lv4 求助人关闭了本次求助。

说明查询到【积分已退回】
1年前

辛勤南琴 Lv4 求助人发起了本次求助

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

2025年影响因子查询已上线 (2025-6-18)

更新

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: Huzhu上传了应助文件

刚刚; galioo3000发布了新的文献求助10

1秒前; 大模型的应助被小智采纳，获得10

1秒前; 领导范儿上传了应助文件

1秒前; 我爱紫丁香完成签到，获得积分10

2秒前; haliw完成签到，获得积分10

3秒前; LL完成签到，获得积分10

3秒前; 深情安青上传了应助文件

3秒前; yu发布了新的文献求助10

3秒前; 自觉鸵鸟发布了新的文献求助10

3秒前; 乐观海云完成签到，获得积分10

4秒前; 小超人完成签到，获得积分10

4秒前; 黄晓荷完成签到，获得积分20

4秒前; duktig完成签到，获得积分10

5秒前; 聪明白秋发布了新的文献求助10

5秒前; 科研小菜狗完成签到，获得积分10

6秒前; 甜蜜鹭洋完成签到，获得积分10

6秒前; Lucy发布了新的文献求助30

7秒前; hhddr完成签到，获得积分10

7秒前; 高高难胜完成签到，获得积分10

7秒前; 香蕉八宝粥完成签到，获得积分10

7秒前; Stephyee完成签到，获得积分20

7秒前; tikka完成签到，获得积分10

8秒前; 量子星尘发布了新的文献求助10

8秒前; 成就的大米完成签到，获得积分10

8秒前; 柯学佳完成签到，获得积分10

8秒前; zhang完成签到，获得积分10

8秒前; 周某某完成签到，获得积分10

9秒前; goudan123完成签到，获得积分10

9秒前; Jasper上传了应助文件

9秒前; Hua发布了新的文献求助10

9秒前; bkagyin上传了应助文件

10秒前; 何处芳歇完成签到，获得积分10

11秒前; 研友_85y6M8发布了新的文献求助10

11秒前; 爆米花上传了应助文件

11秒前; 舒心小凡完成签到，获得积分10

12秒前; 青柠味薯片完成签到，获得积分10

12秒前; joyli完成签到，获得积分10

12秒前; 布可完成签到，获得积分0

12秒前; 上官若男上传了应助文件

12秒前