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 An adaptive octree level set simulation method of the wet etching process for the fabrication of micro structure on sapphire crystal 蓝宝石微结构湿法刻蚀过程的自适应八叉树水平集模拟方法
相关领域
八叉树
微电子机械系统
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期刊： 作者：Ye Chen; Jin Qian; Xinyan Guo; Yan Xing 出版日期：2021-04-25 |
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