Effect of sputtering pressure and rapid thermal annealing on optical properties of Ta2O5 thin films

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标题	Effect of sputtering pressure and rapid thermal annealing on optical properties of Ta2O5 thin films 溅镀压力和快速热处理对Ta2 O5薄膜光学性能的影响相关领域材料科学退火（玻璃）薄膜溅射无定形固体微观结构表面粗糙度正交晶系折射率溅射沉积摩尔吸收率复合材料表面光洁度光电子学光学结晶学纳米技术衍射化学物理
网址	http://dx.doi.org/10.1016/S1003-6326(08)60278-2
DOI	10.1016/S1003-6326(08)60278-2 doi
求助人	zzzooouu 在 2025-05-19 13:50:56 发布自江苏，悬赏 10 积分
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